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    麒麟实验室的设备也已经到位，前前后后总共花四个月的时间，一共花掉了曹莽3.2亿软妹币，比原来预期还多了两千万。

    柯振的父母又介绍了一批化工博士过来，曹莽给了他们一个聚碳酸酯类衍生物分子的公式。

    “曹总，这个是？”孔令儿疑惑问道。

    “这是我从国外一个实验室买回来的光刻胶配方，聚碳酸酯类衍生物的分子公式，我希望你们能够复刻出来。”曹莽回道。

    聚碳酸酯类衍生物：又称为断链型光刻胶。

    这种光刻胶的主链上含有易解离的碳酸酯基团，在euv照射下聚合物分解为co2和很多低分子量片段，这些片段能够增加在显影液中溶解性能，显影时被除去。

    这类光刻胶具有很高的分辨率和低的线边缘粗糙度。

    “现在的光刻胶不都是采用聚对羟基苯乙烯树脂吗？”孔令儿皱眉问道。

    “那是深紫外光刻机用的光刻胶，你们这次研发的是极紫外光的刻胶，国外已经开始研究极紫外光光刻机了，我们在研究深紫外光刻机已经没有意义。”曹莽回道。

    “我们会尽快将它复刻出来的。”孔令儿点头道。

    深紫外光刻胶的制造技术和专利如今都在欧美手上，生产深紫外光刻胶必须要绕过他们的专利，想要绕过他们的专利得付出巨大代价，没有个二三十亿怕是研究不出来。

    极紫外光刻胶目前都还是一片空白，怎么可能倒车回去研究深紫外光刻胶。

    当然深紫外光刻胶不单只有这么一种，只是其他配方的光刻胶不够优秀而已，而且其他配方的专利也在曹莽手里。

    未来欧美想要在极紫外光刻胶方面突破曹莽的专利壁垒基本上是不可能的了。

    曹莽想得很明白。

    你们不卖光刻机给我们？

    那我们不卖光刻胶给你们。

    没有光刻胶你的光刻机就是废物。
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