第(2/3)页

    白春华重重地敲了敲桌子，“光学系统是光刻机的最重要部件之一，无论如何也必须取得突破，如果没有困难，还要我们搞联盟做什么？”

    众人安静了一会。

    卓越精密的技术代表朱易教授开口发了言，“双工件台部件，基本能够达到方案要求，只需要和整机具体进行适配。”

    白春华的脸色这才好了一点儿，总算是有个给力的了。

    “精密控制系统这块也是整机研发的重点，在这方面，卓越精密已经研发走在了前头，我们一定要坚定信心，我不相信有什么是我们克服不了的困难。”

    江成抬手补充道，“精密控制这一块，卓越精密的双工件台是没有太大问题了，但测量和校正系统也是一个重要攻坚点。”

    对光刻机整机的研究，江成可以说比在场所有人都更为深刻。

    因为在他的体内超技术实验室，模拟进来的193纳米的干式光刻机（45nm工艺制程），已经被他逐个零件都分析过了。

    提醒这一句，是为了告诉大伙，不是说双工件台精度没问题了，就意味着这个系统搞定了，还有难题呢！

    随后，华芯国际、大竹激光、华威等企业技术专家都发表了对这篇方案的意见建议。

    这里头华芯国际是有些无所谓的，他只是一个芯片代工厂，为了支持国产，他已经表态研发出来后，只要验收通过，一定买套生产线。

    至于其他的，他们只能是在旁边ob。

    江成随后发表了自己的看法。

    “这篇研发方案，感觉还是下了一番功夫的。”江成笑了笑，但接下来就直言不讳了，“但里面有13处参数过于保守或是错误，有6处遗漏未部署到。”

    江成的声音坚定而又稳重。

    一下子就吸引了大伙的目光。

    “第一处，光源激发器，193纳米采用的arf准分子激光，氟化氢的比例参数还要再提高0.1%……”

    接下来，江成并没有看手里头的稿子，全程就刚才发现的相关问题，一一点出，并且讲出了自己的理解和相关的知识。

    会议桌上坐着的大佬，而边上列席的技术人员，都认真听着，不时快速地记起了笔记。

    白春华惊讶极了，盯着坐在边上的那个年轻人。

    微微有些失神。

    声音洪亮、语气坚定，所有的数据在他的口中，似乎就是真理。

    在心头，一个声音涌了上来。

    听他的，不会错。

    魔都微电子的贺明则是瞪大了眼睛，直勾勾地盯着江成。
    第(2/3)页