第(2/3)页 “这是单晶硅片,直径越大,生产线越先进。”夏英介绍道。 包括江成在内的许多研发人员还都是第一次参观芯片代工厂,这会儿都很好奇。 等到了生产车间,江成的心不禁有些激动了起来。 江成在工作人员的指导下,穿上了淡粉色防尘衣帽,双脚套上鞋套,一行人随后跟着进入了制造区域旁的回形玻璃走廊。 “这是我们的2004年采购自阿斯麦尔的深紫外线光刻机,也就是duv光刻机,波长193nm,目前可以生产45nm制程的芯片。”彭林介绍道。 45nm? 江成原本激动的心又有些回落了下去。 到目前来说,还是有些落后了啊。 “我听说贵公司最新采购的浸没式arf光刻机,可以达到22nm的工艺,不知道能否参观一下?”江成开口问道。 彭林摆摆手,“生产线才刚刚建好,设备都还没有安装调试完成,就没法带你们去参观了。” “这样啊。”江成略微有些失望。 走廊长有几百米,只能隔着玻璃看到前面两台巨大的光刻机。 asml的标志,非常显眼的写在右侧。 “这条生产线虽然老了一些,但工艺是非常纯熟了,月生产晶圆可达3万片。”彭林停了下来,介绍道。 “可以进去近距离看看吗?”江成问道,“一直听说光刻机是工业上的明珠,实在是好奇不已。” 彭林沉思了片刻,点点头,“那我陪江总进去一看。” 至于其他人,那就不行了。 要进内部,那就更加严格了,穿上了无尘服,又过了趟清洗区,这才进了去。 眼前的光刻机像是冒着光一样,吸引着江成。 “这是操作控制单元,”工作人员指着边上的操作台,随后又指向巨大的长方体光刻机,“这是双工件台、投影镜片、掩模台。” 江成走近了,悄咪咪地伸出手。 只不过,手上带着紫外的防护手套,虽然不是完全绝缘,但多少影响了江成的速度。 第(2/3)页