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    主笔撰写综述后，曲燕秋对mems的历史和变化，认识又深刻了一层。

    “相关的技术储备到位了？......半导体相关工艺，发展了这么多年，终于到了一个临界点？.....政府支持？......还有跟我一样的天才出现？.....巨额悬赏？.....ic软件新功能？.....计算机运行速度上来了？”

    陈泉连续说了几个，曲燕秋都在摇头。

    “我知道了，是牺牲层技术。”

    王工在旁边，一拍大腿。“小姑娘是真聪明啊！”

    “对的，这个工艺技术，对我们两个，只是一篇论文，但对mems领域的影响，接近原子弹了。”

    曲燕秋点头赞同，然后接着说。

    “你从相关论文的待遇上，就能看得很清楚。

    牺牲层技术的论文，影响力，其实并不大，它只是被行内人士看中。但采用此技术的微马达一出现，就轰动了世界。

    深硅工艺一旦发布，结果一定也是相同。弄不好，我们未必是那个受益最大的人。

    所以，深硅工艺，发布得越晚越好。最好这个工艺，能保密到，我们的产品面世以后。”

    曲燕秋的几句话说完，屋里的几个人，都是一副恍然大悟状。

    mems的真正爆发，居然起源于一个简单的，所有人都闻所未闻的工艺改良。这个闻所未闻，指的是事后闻所未闻，而不是事前。

    “你的意思，我明白了。”

    陈泉也听懂了。

    利用深硅刻蚀工艺产生的高深宽比，能够显著增加传感面积，提供更高的验证质量，降低弹簧构件的刚度，提高电容的灵敏度，从而提升mems传感器的性能。

    牺牲层技术，是mems概念化的重要推手，深硅刻蚀工艺，才是mems商品化的决定性武器。

    “但我的竞赛怎么办？”

    “什么竞赛？”

    林书强和其他人一样，都把头扭过来。

    “这是我们之间的一个约定，要尽早拿到cns论文。在科研工作者这条路上，尽快登顶。”

    曲燕秋随口解释了一下。然后重新看向陈泉。“你那里不是还有一个备选方案吗？”

    “备选吗？”

    陈泉陷入了沉思。

    除了传感器，蓝光led之外，陈泉在记忆里还看到了一些概念性的草图。奇怪的是，这些草图并没有被付诸实施。

    “行，可以先用备选方案。”想了良久，陈泉终于点头。
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