第(1/3)页

    检测室内，神光1x射线光刻机正在运转着，一群工作人员依旧在孜孜不倦的测试和调整。

    作为中芯国际的首席技术执行，官李伟光技术水平还可以，他两眼放光盯着眼前的庞然大物，这是多么美妙的工业之花。

    李伟光心想，希望这台光刻机是秀外慧中的美人，而不是金玉其外。

    高致远指着光刻机介绍道：“大家眼前的这台光刻机，就是我们神光仪器研发神光1x射线光刻机，具体技术指标，想必大家已经有所了解了。”

    李伟光、赵军等人当然了解，工信部的公告附件上面，就有神光1x射线光刻机的技术指标，他们半路上已经研究过。

    “高总，贵方的光刻机精度真的可以达到10～7纳米?”李伟光急促的问道。

    “我知道大家非常怀疑，一旁有八寸硅片，中芯国际应该有带技术员过来吧?”

    李伟光点了点头。

    高致远指着一侧的库房继续说道：“你们可以派人拿着硅片，和我们的员工一起进行光刻测试。”

    “那我们就恭敬不如从命了。”李伟光转过头向中芯国际的人吩咐道：“张工、李工，麻烦你们了。”

    俩中年技术员麻利动手，他们借助工具小心翼翼的将硅片取出。

    这些硅片不仅仅价格昂贵，而且非常脆弱，别说摔地上了，哪怕是空气最好也别直接接触，因为沾染上灰尘会非常麻烦。

    将两片硅片送入专门的清洁设备之中，然后涂抹光刻胶，将光刻胶摊平到一定的厚度，晾干硅片表面的光刻胶。

    其中的工序非常繁杂，也不能有一丝失误，这不仅仅考验机器设备，也考验技术员的水平。

    要是其中一个环节出现失误，不仅白忙活了半天，硅片、光刻胶、清洁液这些耗材就白白浪费了，这些都是真金白银。

    怪不得说科研就是在烧钱。

    一个多小时过去，终于到了硅片光刻的步骤，一块八寸硅片被光刻机的自动化设备送入其中。

    为了避免影响光刻效果，李工通过一个小窗口的透镜观察了硅片一会，便将小窗口关闭，让光刻室形成一个暗箱。

    张工则在电脑上面挑选着一些掩模模板（电路图母板），随便挑选了其中一个模板，输入尺寸调整。

    因为不同的芯片电路图，需要的面积不一样，因此一块硅片可以刻出多少颗芯片，是要根据实际情况来调整的。
    第(1/3)页